超声波的基础知识课堂Ⅶ

超声波清洗技术的未来发展

超声波清洗技术经过几十年的理论实践,在工艺和设备上都得到了很大的发展，不仅研发了大批新产品，也制订了更为先进的清洗工艺。

1.高频超声清洗

半导体硅片、太阳能电池硅片表面的超微污物粒子，如采用低频超声波，即使硅片击碎，粒子依然附着其上，越是增加功率密度也没任何效果。近来发展起来的兆赫高频超声清洗，其超声频率髙，实际上已不再是产生空化气泡，而是高频压力波的擦洗作用，对污物的清除率也接近百分之百，并且对硅片损伤微乎其微。因此高频清洗近来发展较快,虽然造价昂贵，但硅晶圆太阳能行业仍趋之若鹜。

2.聚焦式清洗

化纤行业使用的喷丝板、其上面密密麻麻的微细孔，以前恐怕只有人工用细针来捅穿堵塞物，即使采用常规的超声清洗效果也不理想，主要是声强达不到要求，而采用机械扫描聚焦式超声清洗，达到较高的声强，在间隙脉冲状态下，空化泡高密度的轰击，喷丝板微孔内的污物脱离，达到清理残留物的效果。

3.多频清洗

在一台超声波清洗机槽体内，安装两组或三组以上不同超声频率的换能器，由多台超声波发生器分别推动各自频率的换能器，超声波清洗的频率高，在液体中的空化密度大但空化强度低，而超声波清洗的频率低则正好相反，空化密度小但空化强度高，由于低频超声波的强度高，有利于物体表面清洗，高频超声波空化密度高，穿透细孔、缝隙、凹槽结构的能力强。因此在一台超声波清洗设备中应用多种频率的超声波，就解决了一个频率因驻波场造成的清洗不均匀问题。

4.扫频和跳频清洗 

扫频清洗和跳频清洗都是为了改善清洗槽中的声场结构，扫频清洗解决了清洗槽的驻波场,使清洗更均匀；而跳频和多频一样兼顾到高低频清洗，不同的是跳频用的是一个换能器和一个发生器，其换能器本身具有两个或多个谐振频率，在第一谐振点带宽内作连续的频率变化，然后跳到另一带宽内进行扫频清洗，属于高中低频交替进行的清洗方式，这就是雷士超声已实现一台超声波发生器驱动一种换能器的多种频率，并可实现频率自由切换。